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陶瓷基板表面金屬化方法---直接敷銅法

陶瓷基板的表面金屬化有多種方法,但其中最簡易的就是直接敷銅法,通過在氧化鋯陶瓷表面進行銅箔與陶瓷結合,下面是科眾陶瓷廠敷銅法的簡單介紹。

陶瓷基板的表面金屬化有多種方法,但其中最簡易的就是直接敷銅法,通過在氧化鋯陶瓷表面進行銅箔與陶瓷結合,下面是科眾陶瓷廠敷銅法的簡單介紹。

直接敷銅法是在陶瓷表面(主要是Al2O3和AlN)鍵合銅箔的一種金屬化方法,它是隨著板上芯片封裝技術的興起而發展出來的一種新型工藝。其基本原理是在Cu與陶瓷之間引進氧元素,然后在1065~1083℃時形成Cu/O共晶液相,進而與陶瓷基體及銅箔發生反應生成 CuAlO2或Cu(AlO2)2,并在中間相的作用下實現銅箔與基體的鍵合。 因為AlN屬于非氧化物陶瓷,其表面敷銅的關鍵在于在其表面形成一層Al2O3過渡層,并在過渡層的作用下實現銅箔與基體陶瓷的有效鍵合。


氧化鋁陶瓷圓盤

銅箔具有良好的導電及導熱性能,而氧化鋁不僅具有導熱性能好、絕緣性強、可靠性高等優點,還能有效地控制 CuAl2O3-Cu復合體的膨脹,使直接敷銅法制備的陶瓷基板具有近似氧化鋁的熱膨脹系數,目前廣泛地應用于IGBT、LD和 CPV 等的封裝散熱管理中。


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本文“陶瓷基板表面金屬化方法---直接敷銅法”由科眾陶瓷編輯整理,修訂時間:2022-12-20 14:43:13
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