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工業陶瓷燒結是在進行陶瓷加工前最后進行的一個環節，燒結的好壞都將影響氮化鋁陶瓷的加工性能，從而影響加工后的陶瓷基片的性能，下面科眾陶瓷廠給大家介紹下其燒結方法。

（1）燒結方法

AlN陶瓷基片一般采用無壓燒結(常壓燒結)，該燒結方法是一種最普通的燒結，雖然工藝簡單、成本較低、可制備復雜器件，但燒結溫度一般偏高，在不添加燒結助劑的情況下，一般無法制備高性能AlN陶瓷基片。（助劑相關見下文解析。近年來，出現了一些新型燒結方式，如微波燒結、放電等離子燒結等。

氮化鋁陶瓷片打孔

a 微波燒結

傳統燒結方式一般通過外部熱源對AlN坯體進行加熱，熱傳導不均且速度較慢，將影響燒結質量。微波燒結通過坯體吸收微波能量從而進行自身加熱，加熱過程是在整個材料內部同時進行，升溫速度快，溫度分散均勻，防止AlN 陶瓷晶粒的過度生長。這種快速燒結技術能充分發揮亞微米級和納米級粉末的性能，具有很強的發展前景。

例子：研究人員采用該燒結方法對加有質量分數3%Y2O3的AlN粉體進行燒結，在燒結溫度較低的情況下制備出了接近理論密度的AlN陶瓷材料，熱導率達160～225W/( m·K)。

b 放電等離子燒結

放電等離子燒結技術主要利用放電脈沖壓力、脈沖能和焦耳熱產生瞬間高溫場實現快速燒結。放電等離子燒結技術的主要特點是升溫速度快，燒結時間短，燒結溫度低，可實現AlN 陶瓷的快速低溫燒結。通過該燒結方法，燒結體的各個顆?？深愃朴谖⒉Y那樣均勻地自身發熱以活化顆粒表面，可在短時間內得到致密化、高熱導燒結體

例子：有研究人員將添加質量分數3% Sm2O3的AlN坯體通過放電等離子燒結技術在1500℃下僅燒結3min，便得到高達118 W/( m·K)的熱導率。